一、真空镀膜车间为什么必须先测气真空镀膜（PVD，如磁控溅射、蒸发镀）以高纯氩气（溅射工作气体）、氮气或反应气体在真空室内沉积金属或化合物薄膜，镀前基材经酸洗、碱洗、有机溶剂清洗。镀膜区富集氩气、氮气（置换氧致缺氧），前处理挥酸雾与清洗剂VOC，部分工艺用反应气体（如氧气、乙炔）。密闭镀膜、前处理、清洗区既缺氧又使腐蚀气与可燃气积聚。进入前必须测气，防缺氧、防中毒、防燃爆。二、进入前必测的几项气体，氧气浓度，正常应在19.5%—23.5%之间（镀膜、前处理、清洗区重点防氩气氮气置换缺氧）。第二，氩气（工作气，本身无毒但置换氧致缺氧）以防缺氧。第三，氮气（反应或保护气，置换氧致缺氧）以防缺氧。第四，酸雾（前处理，腐蚀刺激）依接触限值严控并由电化学监测。第五，VOC（有机溶剂清洗，可燃有毒）依接触限值由PID或催化燃烧监测。三、检测流程怎么走进入镀膜、前处理、清洗区前先开排风（工艺尾气与有机废气经处理），用泵吸式气体检测仪从下部（氩气偏重、酸雾偏重、缺氧）和作业面（氮气、VOC）采样，多点测量。氧含量、氩气、氮气、酸雾、可燃气低于限值再进入，监护复测配防腐蚀防毒面具，镀膜真空室破空前确...