一、光伏车间为什么必须先测气硅片扩散用三氯氧磷挥氯化氢、氯气，PECVD 用硅烷（自燃剧毒）和氨气镀膜，刻蚀用含氟气体，清洗用氢氟酸挥氟化氢，组件层压用EVA胶膜挥有机蒸气，密闭扩散、刻蚀、PECVD 以氮气置换致缺氧。进入前必须测气，防中毒、防燃爆、防窒息。二、进入前必测的几项气体，氧气浓度，正常应在19.5%—23.5%之间（扩散、刻蚀、PECVD 氮气置换重点防缺氧）。第二，硅烷（PECVD）爆炸下限极低约1%—2%，须控制在10%爆炸下限以下并严控泄漏。第三，氢氟酸（清洗）时间加权平均不超2严控。第四，氨气（镀膜）时间加权平均不超20、短时间接触上限30。第五，氯化氢（扩散）时间加权平均不超7.5。三、检测流程怎么走进入扩散炉、刻蚀机、PECVD 和清洗槽前先强制通风，用泵吸式气体检测仪从作业面和下部采样，多点测量。氧含量、硅烷、氢氟酸低于限值再进入，监护复测，配防毒面具，禁明火静电，用防爆不发火工具。四、仪器怎么用才稳固定式氧气、硅烷、氢氟酸、氨气探头布在扩散、刻蚀、PECVD 和清洗区，便携式多气体用于巡检。硅烷选催化燃烧或红外原理、氢氟酸选电化学原理、氨气选电化学原理...