一、平板显示与液晶面板车间为什么必须先测气面板制造用特种气体：硅烷（SiH₄）遇空气自燃、水解产硅酸烟雾；磷烷（PH₃）剧毒且自燃；氯气（Cl₂）强腐蚀刺激；NF₃ 用于刻蚀、强温室效应。CVD 和扩散工序泄漏风险高，进入前必须测气，防燃爆、防中毒、防腐蚀。二、进入前必测的几项气体第一，氧气浓度，正常应在19.5%—23.5%之间。第二，硅烷（自燃易燃），控制在10%爆炸下限以下。第三，磷烷（剧毒）时间加权平均不超0.3、短时间接触上限1。第四，氯气（刺激腐蚀）时间加权平均不超1、短时间接触上限2。第五，NF₃ 按限值并防缺氧。三、检测流程怎么走进入 CVD、扩散、特气柜和废气处理区前先通风，用泵吸式气体检测仪从下部（硅烷、氯气重）和作业面采样，多点测量。氧含量、特气低于限值再进入，监护复测，禁近火源、配自给式呼吸器。四、仪器怎么用才稳固定式硅烷、磷烷、氯气、氧气探头布在特气柜和 CVD 区，便携式多气体用于巡检。硅烷选催化燃烧或红外原理、氯气选电化学原理、磷烷选电化学原理、氧气选电化学原理，设备须防腐防吸附，每次使用前后做零点和标定校验，建议定期标定，检测数据汇入特气管理台账。五、小...