一、多晶硅生产车间为什么必须先测气多晶硅还原、外延、尾气回收用到三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、硅烷，这些气体有毒、腐蚀、易燃。还原炉、尾气淋洗、装卸区一旦泄漏，氯硅烷遇水放出氯化氢，硅烷遇空气会自燃，进入前必须测气。二、进入前必测的几项气体第一，氧气浓度，正常应在19.5%—23.5%之间。第二，氯化氢（氯硅烷水解产物），短时间接触上限7.5毫克每立方米、时间加权平均不超7.5毫克。第三，硅烷（自燃、剧毒），职业接触限值0.5毫克每立方米。第四，三氯氢硅蒸气（可燃），爆炸下限约6%体积比。第五，氢气（还原副产），控制在10%爆炸下限以下。三、检测流程怎么走进入还原炉、尾气管道、装卸区前先强制通风，用泵吸式气体检测仪从上部（氢气、硅烷比空气轻）和底部（氯化氢比空气重）采样。多点测量、氧含量、氯化氢、硅烷合格并通风后，方可进入作业。作业中专人监护、定时复测。四、仪器怎么用才稳固定式氯化氢、氢气、氧气探头布在还原区和装卸线，便携式用于巡检。氯化氢选电化学原理、氢气选催化燃烧原理、氧气选电化学原理，设备须防爆、防腐蚀，每次使用前后做零点和标定气校验，建议定期标定，检测数据汇入作业票台账。五、小结...