化学式：NF₃ CAS：7783-54-2外观形态：无色气体气味：轻微霉味/刺激味沸点：-129.1°C相对空气密度：2.46（比空气重）溶解性：微溶于水爆炸极限：不可燃，但强氧化剂闪点：不可燃职业接触限值：ACGIH TLV-TWA：10 ppm；OSHA PEL：10 ppm；NIOSH IDLH：未建立；GWP=17200（超强温室气体）健康危害：【急性危害】本身低毒，但分解产物（HF、NOx）极毒。吸入高浓度NF₃：引起高铁血红蛋白血症（F⁻氧化血红蛋白，类似苯胺机制）、肺刺激；皮肤接触：低刺激性。电气设备中NF₃分解（等离子体激发）生成HF、NO₂、NF等有毒产物，是主要危害来源。【温室效应】GWP=17200，大气寿命约740年，是极强温室气体，须回收不得直排（半导体行业排放受严格管控）。主要用途：半导体CVD（化学气相沉积）腔室清洗（主要用途，替代C₂F₆和SF₆，反应性更高，清洗效率更高，但仍是强温室气体）；等离子蚀刻辅助气体；液晶面板（LCD）制造。检测方法：电化学传感器；红外传感器（NF₃特征吸收）；高灵敏度离子化检测仪；固定式连续监测（半导体厂必备）。应急处置：...