化学式：SiH₄ CAS：7803-62-5外观形态：无色气体气味：轻微刺激性气味，类似芥子气的微弱气味沸点：-112°C相对空气密度：1.12（略重于空气）溶解性：微溶于水（水解生成SiO₂和H₂）爆炸极限：1.5%～96%（极宽，接近全范围易燃！）闪点：在空气中可自燃（自燃温度21°C）职业接触限值：ACGIH TLV-TWA：0.5 ppm；OSHA：无具体限值；NIOSH IDLH：未建立（高爆炸危险）；中国PC-TWA：1 mg/m³健康危害：【急性危害】中等毒性，吸入损害肺（化学性肺炎）；高浓度引起中枢神经抑制。皮肤和眼睛接触液态硅烷引起冷冻伤（极低沸点）。【爆炸危险（主要风险）】硅烷在空气中几乎全范围可燃（1.5%～96%），且可在空气中自燃（尤其是高浓度/不纯品），是半导体行业最危险的气体之一。遇水缓慢水解，遇强氧化剂（如N₂O）可剧烈反应。主要用途：半导体和光伏行业核心气体：CVD沉积多晶硅、非晶硅（薄膜太阳能）、氮化硅（SiH₄+NH₃）、氧化硅（TEOS替代前的早期工艺）；n型掺杂（SiH₄+PH₃）；硅外延生长；MEMS器件制备。检测方法：催化燃烧传感器（CA...