化学式：NF3 CAS：7783-54-2外观形态：无色气体气味：轻微霉味/氟化物气味沸点：-129°C相对空气密度：2.46溶解性：微溶于水（缓慢水解）爆炸极限：不可燃，但强氧化剂闪点：无职业接触限值：ACGIH TLV-TWA：10 ppm；OSHA PEL：10 ppm；NIOSH IDLH：1000 ppm健康危害：【急性危害】氧化剂，毒性中等。吸入：轻度刺激呼吸道；高浓度（>1000 ppm）引起高铁血红蛋白血症（methemoglobinemia）：皮肤/黏膜变蓝，血液不能携带氧气，危及生命；类似亚硝酸盐中毒。皮肤/眼睛：刺激性。【慢性危害】长期接触可能引起氟中毒（骨骼氟化）。【环境危害】GWP=17200，大气寿命约500年，是强效温室气体（虽ODP=0）。主要用途：半导体制造（CVD反应室清洁，代替CF4/NF3远优于C2F6用于远程等离子清洁）；液晶面板（TFT-LCD）制造；太阳能电池板制造；应用极广，是现代半导体最重要特种气体之一。检测方法：电化学传感器（专用NF3传感器）；气相色谱；红外气体分析（NDIR）。应急处置：通风疏散；正压式SCBA；高铁血红蛋白血症...