化学式：C₂F₆ CAS：76-16-4外观形态：无色气体气味：无味沸点：-78.1°C相对空气密度：4.17（比空气重）溶解性：不溶于水爆炸极限：不可燃闪点：不可燃职业接触限值：ACGIH TLV-TWA：5000 ppm（窒息性）；GWP=12200，大气寿命10000年健康危害：【急性危害】化学极稳定，本身低毒；高浓度窒息性；液态接触冻伤。【温室效应】GWP=12200（是CF₄的1.65倍），大气寿命约10000年，是非常强力的温室气体，使用后须处理不得直排。主要用途：半导体等离子蚀刻（SiO₂、多晶硅、CVD清洗）；与CF₄混合使用；光纤预制棒生产（气相外延）。检测方法：红外传感器；质谱仪；GC-ECD。应急处置：同CF₄；尾气处理系统须分解C₂F₆（高温氧化，需900°C以上）。...