化学式：CF₄ CAS：75-73-0外观形态：无色气体，化学极惰性气味：无味沸点：-127.8°C相对空气密度：3.26（比空气重）溶解性：不溶于水，不与水反应爆炸极限：不可燃闪点：不可燃职业接触限值：ACGIH TLV-TWA：5000 ppm（窒息性）；GWP=7390，大气寿命约50000年健康危害：【急性危害】本身化学惰性，低毒。高浓度窒息性（置换O₂）；液态CF₄接触皮肤冻伤（沸点-128°C）。CF₄极稳定，不分解，无刺激性。【温室效应（主要危害）】CF₄是大气中最稳定的化合物之一，GWP=7390，大气寿命约5万年，排放几乎永久性存在于大气中，是铝冶炼（阳极效应）和半导体蚀刻的重要排放问题。主要用途：半导体干法蚀刻（等离子蚀刻SiO₂、Si₃N₄，CVD腔室清洗）；低温制冷（Joule-Thomson冷却，用于红外探测器冷却）；铝冶炼阳极效应产物（CF₄和C₂F₆，全氟化碳PFCs排放）。检测方法：红外传感器（CF₄特征吸收7.8 μm）；质谱仪；气相色谱-ECD。应急处置：窒息危险处置同N₂；半导体行业须安装尾气处理系统（热氧化/等离子体分解CF₄，减少温室气体排放...